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全自动8英寸晶圆单片清洗机-更正公告

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四川 -绵阳

发布时间： 2026年10月30日

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晶圆清洗机公告

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全自动8英寸晶圆单片清洗机-更正公告

一、项目基本情况
原公告的采购项目编号	****
原公告的采购项目名称	全自动8英寸晶圆单片清洗机
首次公告日期	2026-10-26 00:00:00
二、更正信息
更正事项	采购文件
更正内容	1.由招标文件第五章/三、具体需求或要求/1. 技术指标与功能要求/★1.1 外形尺寸与外观（1）外形尺寸长宽高：≤3200mm×2600mm×3000mm（安装在工艺楼层的部分，含维修空间）；更正为（1）外形尺寸长宽高：≤3200mm×2600mm×3000mm（安装在工艺楼层的部分，不包含维修空间）； 2.由招标文件第五章/三、具体需求或要求/1. 技术指标与功能要求/1.2 技术指标与功能要求 ★（7-2）设备具备mapping功能，可检测晶圆片有无、厚度异常、叠片、斜搭；（7-4）设备机器人具备2支真空手指，备2支伯努利手指； ★（8-3）旋转式卡盘（spin chuck）：真空吸附； ★（8-4）单元药液摆臂（Arm）配置：Arm1常压喷嘴：SC1+DIW，SC1工艺温度：室温~70℃±2℃；Arm2氮气干燥喷嘴：N2；正面固定喷嘴：DIW；背喷固定喷嘴：DIW+ N2；或者单元药液摆臂（Arm）配置：Arm1: Nano-SC1+DIW，SC1工艺温度：室温~70℃±2℃; Arm2: N2; 正面固定喷嘴：DIW；背喷固定喷嘴：DIW； ★（8-8）清洗腔体材质：PVDF+PET，全封闭；分层CUP，材质为PP或者NPP； ★（9-8）清洗腔体材质：PVDF+PET，全封闭；分层CUP：PP；或者NPP ★（10-8）清洗腔体材质：PVDF+PET，全封闭；分层CUP，材料为PP或者NPP； ★（11-9）清洗腔体材质：PEEK材质，全封闭，CUP材质为PP或者NPP；更正为★（7-2）设备具备mapping功能，可检测晶圆片有无、叠片、斜搭；（7-4）设备机器人具备2支真空（或者夹持）手指和2支伯努利手指； ★（8-3）旋转式卡盘（spin chuck）：夹持式； ★（8-4）单元药液摆臂（Arm）配置：Arm1常压喷嘴：SC1+DIW，SC1工艺温度：室温~60℃±2℃；Arm2氮气干燥喷嘴：N2；正面固定喷嘴：DIW；背喷固定喷嘴：DIW+ N2；或者单元药液摆臂（Arm）配置：Arm1: Nano-SC1+DIW，SC1工艺温度：室温~60℃±2℃; Arm2: N2; 正面固定喷嘴：DIW；背喷固定喷嘴：DIW； ★（8-8）清洗腔体材质：NPP或者PP或者PVC，全封闭；分层CUP，材质为PP或者NPP； ★（9-8）清洗腔体材质：NPP或者PP或者PVC，全封闭；分层CUP：PP；或者NPP ★（10-8）清洗腔体材质：NPP或者PP或者PVC，全封闭；分层CUP，材料为PP或者NPP； ★（11-9）清洗腔体材质：PP或者PVC，全封闭，CUP材质为PP或者NPP；
三、其他补充事宜
采购方式：公开招标
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系
1.采购人信息
名称	****
地址	省市绵山路64号
联系方式	李女士 0816-****456
2.采购代理机构信息
名称	****
地址	省市游****物资部
联系方式	杨杰 0816-****692
3.项目联系方式
项目联系人	杨杰
电话	0816-****692
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